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中国科学院微电子研究所：用于呼吸监测的纳米森林湿度传感器中国科学院微电子研究所毛海央研究员团队提出了一种由湿敏电容、参比电容、热敏电阻和微加热器四部分构成的新型湿度传感器。采用纳米森林作为湿敏材料，与传统的聚酰亚胺湿度传感器相比，灵敏度显著提高，此外，通过在传感器内部集成微加热器、热敏电阻和参比电容，可以有效的缩短湿度传感器的响应恢复时间、提高湿敏信号精度和抗干扰能力。

结合机器学习算法，集成纳米森林的湿度传感器可以用于人体呼吸状态监测，继而有望在消费电子和医疗器械领域广泛应用。本文亮点1.采用纳米森林作为湿敏材料，与传统的聚酰亚胺相比，在40%至90%相对湿度范围内，传感器的灵敏度提高了8倍2.传感器内部集成的微加热器可以加速水分子在纳米森林表面解吸附，将恢复时间缩短至5秒3.采用差分法输出信号，可以消除寄生电容带来的影响。

ZNXsensor超精密电容位移传感器该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。应用领域压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。1、电容传感器的灵敏度与频带都可以调。2、用电测法测量非电学量时，首先必须将被测的非电学量转换为电学量而后输入之。

变面积式电容传感器的灵敏度是常数，，即输出与输入呈线性关系；变间隙电容传感器的电容与位移不是线性关系。变面积式电容传感器的灵敏度是常数，即输出与输入呈线性关系；变间隙电容传感器的电容与位移不是线性关系。当被测量δ，A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，仅改变另一个参数，就可以把该参数的变化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。

扩展资料：当电流通过游丝流经线圈时，因电流和磁场的相互作用，线圈克服游丝的反抗力矩偏转一个角度，在磁感强度，线圈面积、线圈匝数和游丝强度一定时，电流的大小与线圈偏转的角度成正比，我们以指针满偏时电流Ig的大小看作电表的灵敏度，满偏电流愈小灵敏度愈高，表头满偏电流一般为10微安到几百毫安。当电容传感器用于测量其他物理量时，必须进行预变换，将被测参数转换成d，S或ε的变化。

差动电容式压力传感器在检测压力时，因压力的作用使检测电容的动片发生位置变化，当其中一个电容的容量变小时，另一个电容的容量就会变大，这就相当于有两倍的变化量，其灵敏度当然就会提高。同时，对于电容式压力传感器的检测电容变化时，它的变化过程是非线性的，而采用差动电容时，对应的非线性变化互补就变成了线性变化，因此，差动电容式压力传感器不仅其灵敏度高，线性都也高。

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