加拿大团队发表最新研究报告悬浮式mems扬声器
基于表面微加工的悬浮式MEMS扬声器近期，一支由加拿大魁北克大学希库蒂米分校和蒙特利尔分校研究人员组成的团队在202220thIEEEInterregionalNEWCASConference上发表了最新论文，据研究人员所知，本论文首次提出了一种悬浮式MEMS扬声器，该扬声器在1mm处产生的最大声压级约为85db，在高保真、高效率的应用领域具有良好的前景。
由于MEMS器件通常依赖于刚性材料的形变运动，因此在功率和频率带宽之间存在一种权衡。此外，在低频下的工作依赖于非常大的器件尺寸。对于音频应用来说，低频和覆盖所有可听波长的带宽是至关重要的要求，所有这些都不能牺牲输出功率，即音量。H.Wang等提出了一种使用PZT薄膜制造的压电MEMS扬声器，该扬声器能够在1cm处产生119dB的声压级，单个薄膜的器件面积小于50mm。
1、mems领域2个最重要的国际会议是什么和水平最高的国际期刊三大国际会议：MEMS、TRANSDUCERS、SENSORS另外相关领域：封装有ECTC、EPTC、ESTC；电路有：IEDM、ISSCC；微波有：MTT重要期刊：JMEMS、JMM、SENSOR
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