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传感器与mems产业化技术国际研讨会以崭新姿态亮相

2023-05-04 mems pecvd 技术 传感器 崭新 155 ℃

11月18日，由中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会主办，北京赛微电子股份有限公司协办,由厦门半导体投资集团有限

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